二手 CANON / ANELVA SPF-730 #9031246 待售

CANON/ANELVA SPF-730是一种用于各种薄膜应用的溅射设备。适用于广泛的溅射过程，可用于沉积金属、介电膜等材料。CANON SPF-730能够在大面积上提供准确、均匀的沉积，具有高通量率。该系统以多磁控管溅射（MMS）技术为基础，采用优化的溅射方法，能够在不同区域上制造出耐用均匀的涂层。该单元具有独特的模块化腔室设计，有助于提高沉积层的均匀性。ANELVA SPF-730有两组磁控管，一组位于腔室顶部，一组位于腔室底部。本机利用阴极电弧蒸发技术，发射向底物加速的高能离子。这有助于即使在高沉积效率和速度的大型基板上实现均匀沉积。它具有对磁控管电源的独立控制，还由一个射频发电机组成，该发电机控制底部和顶部的磁体，从而提供均匀的层沉积。该工具包含两部电梯，有助于手动装卸基板。SPF-730的气体进料资产包含两个独立的源，分别是氙气（Ar）和氧气（O2）。这两个气源可以单独调节，以优化溅射沉积过程。CANON/ANELVA SPF-730还具有一个冷却器单元，在操作过程中有助于保持室内温度低。它还包含一个控制单元，可帮助设置各种参数，如工艺周期、定时和气体流量。该型号还包含一个触摸屏操作面板和一个液晶屏,用户可以在操作过程中监视设备。该系统常用于生产从低k介电层到高k介电层、金属膜、化合物等各种类型的薄膜涂层。适用于半导体晶圆制造、硬盘驱动器生产、显示屏和触摸屏生产、传感器等广泛应用。佳能SPF-730是一种高效的溅射装置，能够为各种工业应用制造出均匀耐用的薄膜。该机操作方便，对沉积过程进行准确控制。