二手 CANON / ANELVA SPF-730 #9284116 待售

CANON/ANELVA SPF-730是一种溅射设备，可用于薄膜沉积、薄膜沉积、微观分析、仪器仪表、摩擦学、样品制备等多种应用。CANON SPF-730具有一个24英寸直径、24英寸长的不锈钢工艺室，设计为在10^-5 Torr的真空下运行。它配有内置气体入口、八部分晶体目标架，以及用于均匀磁控管溅射的单点磁铁。溅射系统的最大功率等级为2kW，工作度为100 W至1.2 kW。另外还有12个可调电流范围高达100 mA，以及5个旋转移位设置，从而能够精确控制溅射过程。该单元的腔室设计用于容纳直径不超过12英寸、重量不超过40磅的样品。它还为外部工具提供访问权限,包括样品支架、刀具、火炬和显微镜。在机器上可以安装小型炉和温度控制器，以便更厚的沉积。ANELVA SPF-730配有内置的带有蚀刻室的等离子体工具、受试者控制的射频等离子体源、射频匹配网络以及磁控器溅射。资产还可以配备红外探测器，用于在工艺开发或研究过程中监测薄膜沉积。SPF-730是一个可靠和高效的溅射模型，适用于广泛的应用。其易于使用的控制设备和广泛的能力使其成为研究实验室、薄膜沉积、样品制备和仪器仪表的理想选择。