二手 CANON / ANELVA SPF-730H #293660536 待售
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ID: 293660536
晶圆大小: 6"
优质的: 1996
Sputtering system, 6"
Non-SMIF Type
Main body
Pump
Display
Pump line box
Cables box
Pump cover
Spare parts
(2) Control cabinets
Air pressure: 6-8 kgf/cm²
Water volume:
Main body: 2kgf/cm², 6 L/min
Attached: 2kgf/cm², 5 L/min
Power supply: AC200 V, 60 A, 3-Phase
1996 vintage.
CANON/ANELVA SPF-730H是一种最先进的溅射设备,其设计目的是在较小的占地面积内为研究人员提供先进的溅射能力。这种溅射系统结合了高效的直流控制溅射工艺和先进的电源技术以及符合人体工程学的设计，使操作变得简单直观。整个装置可确保提高溅射结果的吞吐量、准确性和可重复性。溅射机由主体和磁场两个主要子系统组成。主体装有溅射源、真空工具和计算机控制资产。溅射源由两个双磁控管组成，使得高效直流控制的磁控管溅射过程得以发生。真空模型由扩散泵和涡轮分子泵组成，确保在稳定的低压真空环境下进行溅射过程。计算机控制设备能够精确控制和调整溅射参数，包括电源电流、电压和波形。该系统还具有磁场阵列，该阵列由一系列交叉的永磁体围绕溅射源放置。这提供了目标材料的均匀溅射以及方向控制，确保溅射材料分布均匀，不会偏离基板。CANON SPF-730H溅射装置是需要高精度、可重复和可靠结果的溅射应用的理想选择。凭借其先进的溅射工艺、多种功能和用户友好的设计，这款溅射机是实验室和研究机构为其溅射需求寻找可靠解决方桉的绝佳选择。
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