二手 CASON TCB 10 #155369 待售

CASON TCB 10设备是为涂覆多种材料而设计的高性能直流溅射系统。它是一种多功能涂层装置，能够在压力、温度和功率可变的八个位置上溅射多个目标。TCB 10用全自动的锁载机建造，允许将基板引入腔室。它还具有一个数字控制器，以确保正确的稳态操作的工具。该资产具有10个目标溅射单元,这些单元可以溅射直径最大为12英寸的目标,真空兼容性可降低到8x10⁻⁵ torr（1.3x10⁻¹¹ herecometer）。CASON TCB 10利用强大的电源来创建用于溅射的特殊直流波形。这些电源可针对电流和电压进行调节,从而可以控制功率、温度和压力。此外，该模型还具有可调气流控制设备，用于Ar和Xe溅射气体。这种涂层系统还有一种自清洁机制，在每次涂层后自动从腔室中清除沉积。这样可以确保设备随时间保持其性能水平,并有助于确保均匀的薄膜厚度。这种多功能涂层机可用于溅射金属如钛，铜和铬等。也可用于溅射ITO、MgO、AL2O3等氧化物。TCB 10具有覆盖直径达300 mm的晶片以及电池和基板的能力。CASON TCB 10是寻找可靠高效直流溅射工具时的完美解决方桉。凭借其高端功能,它提供了灵活可靠的涂层工艺,非常适合所有涂层需求。