二手 CPA / KURDEX 9900-1 #9173356 待售
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ID: 9173356
Horizontal in-line sputtering system
Entry / Exit load lock:
CPA Chamber
CPA Load lock valve
Load lock chamber 26"
Single pallet operation
12” x 24” Sputter zone
(1) Al Pallet, 15.5” x 25” x .25”
MKS 924 Multi-gauge for vacuum
Measurement ATM to -8 Scale
Pallet sensors
Process chamber:
CTI CT-8 Cryo pump
VAT Hivac valve
MKS Throttling valve
CTI 8500 Compressor
MKS 972 Multi-gauge for vacuum
Measurement ATM to -8 Scale
(2) Gas system with VCR gas lines
(2) NUPRO Isolation valves
(2) MKS MFCs for Ar 200 sccm , O2 50 sccm
MKS Variable throttle value
MKS 390 Baratron gauge
Chain drive transport system
AE Pinnacle+, 5 kW DC power supply
With sync cable
(4) CPA Process chambers:
(6) CPA 4.75” x 15” DC Magnetron assemblies
(6) Targets shielding
(1) CPA Process chamber
Oven run
Control system:
Opto-22 PLC
Monitor-simple PLC
Manual and auto control modes
Recipe control
(2) Stepper motors
I/O Wiring
SMC Soleniod block
UL Approved power box with EMO
CPA Optical pallet sensing system
With controller and sensors
RGA:
LEYBOLD Transpector
Installed with isolation valve
Dry pump.
CPA/KURDEX 9900-1溅射设备是专门为薄膜沉积应用而设计的基于磁控管的系统。它是一种高精度、多目标单元，非常适合各种材料的溅射涂层。CPA 9900-1的最大沉积速率为0.3 Å/s，目标至样本距离范围为3至10厘米，最大基材尺寸为9英寸。它还能够溅射正负目标。该机由一个自动Argon-ion source提供动力，并装有一个特殊的、超高真空（UHV）的三重目标磁控管溅射枪。KURDEX 9900-1配备了多种功能，包括易于操作的触摸屏显示屏、安全的全封闭设计以及用于目标监控的LED显示屏。该工具还配备了PLC（可编程逻辑控制器），用于优化自动化和精确控制资产的溅射过程。该模型还可以集成到自动化生产线中，从而能够快速高效地在图桉化薄膜中涂覆增量。9900-1采用高功率、特别设计的等离子体发生器，创造最佳溅射条件。该设备的溅射参数具有很高的可调性，可以进行编程以获得最佳效果。最高工艺温度范围为0-1000˚C,最大功率输出为8kW。该系统进一步配备了水冷护罩，以确保安全和可靠性。CPA/KURDEX 9900-1是高性能薄膜沉积应用的理想选择。其卓越的精度和速度使得它非常适合快速和高效的溅射涂层与各种材料。该单元还配备了若干安全监控功能，以保护操作员和基板免受任何潜在干扰。CPA 9900-1是高精度、高性能溅射应用程序的一个可访问且经济实惠的选项。
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