二手 CPA / KURDEX 9900-1 #9212051 待售

CPA/KURDEX 9900-1设备是为多种材料沉积而设计的双枪溅射系统。它能够定期沉积导电和绝缘膜、薄膜、碳膜、陶瓷膜、氧化物和氮化物以及金属和合金。该单元可配置为手动或自动脚踏板控制操作。CPA 9900-1机提供高功率、两枪溅射源，并使用经验证可靠的RF（射频）肠源，允许一致控制的沉积速率和均匀的薄膜厚度。它具有在直流溅射和反应性溅射蚀刻模式下工作的能力，并具有脉冲模式，所有这些都能够非常精确地控制溅射速率和薄膜成分。该工具的操作压力范围从高真空到超高真空水平，可用于单个资产中最多10个目标和10个源。该模型配有标准的石英晶体监测器和可选的光学光谱仪，用于精确监测和控制薄膜的厚度和组成。它提供磁性和动力学溅射，具有高达8"的目标提供增加均匀性和覆盖率，由于不同的目标旋转速度和倾斜角度。它还包括一个盒式船能够达到10"晶圆，与桌面真空转移机器人提高生产力。KURDEX 9900-1包含用于监控沉积速率和其他工艺参数的高级数据记录和控制功能,具有高分辨率图形显示功能。它还具有自动启动功能,可确保增强和改进重点工作流。9900-1溅射设备直观、用户友好,得益于数据采集功能,使用户能够实时调整和监控系统性能。总体而言，CPA 9900-1是一个可靠、高效和方便用户的溅射装置，旨在实现各种材料的一致、精确和微调沉积。