二手 CPA / KURDEX 9900 #9035084 待售
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ID: 9035084
Sputtering system
Manual operation
Cold trap in each chamber
Load lock at each end
Substrate heater chamber
(3) Cathode chambers
Cathode size: 15"
Diffusion pumps model #0183 (VHS-4 new model number) for the load locks
Turbovac 1000CT Turbo pump for the process chamber
System handles 14 pallets in a load, 12"x12" usable pallet area
Equipped in each load lock a heater enclosure and an omega temperature controller for high temperature cures (=<500C) at high vacuum.
CPA/KURDEX 9900是为纳米技术和材料研究而设计的高性能溅射设备。它是一个紧凑、非真空、高速率的等离子体系统，具有各种能源和广泛的可自定义的用户可配置参数。该单元构建在模块化平台上，配有控制器、电源、供气、目标支架、广泛的目标、准直挡板、真空室和视口。CPA 9900利用高功率脉冲等离子体技术，产生高速率、可重复的溅射过程，将薄膜材料的气相沉积物输送到缺陷最小的基板上。本机具有均匀、高速度的溅射，保证了薄膜的质量沉积，具有良好的附着力和均匀性。此外，该工具还可用于沉积薄膜，用于广泛的应用，包括半导体结构、光学涂层和生物医学设备。KURDEX 9900的动力由广泛的能源提供，包括磁控管、电弧等离子体源和电子束枪。控制和监测系统允许精确调整等离子体参数，如功率、气体成分和脉冲宽度。它还具有可定制的工作参数,例如温度、压力、冷却时间和压力模式。这使用户能够根据自己的具体要求量身定制溅射沉积。9900资产配备了一系列安全机制，确保溅射过程中的安全。这些措施包括空间温度无关的过温关闭、目标区域热保护和水平敏感的电弧启动控制。该模型还采用了"目标中毒"设备，减少了蒸发颗粒与底物之间的反应以及与表面污染物的界面。总体而言，CPA/KURDEX 9900溅射系统是纳米技术和材料研究的高效、可重复、高度可控的单元。这台机器能够生产质量和均匀性优良的薄膜沉积材料，具有广泛的性能和应用。用户友好的界面，加上可定制参数的范围，使得CPA 9900溅射工具成为任何研究或工业溅射应用的绝佳选择。
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