二手 CPA / KURDEX 9900 #9053543 待售

CPA/KURDEX 9900是一种高精度、多功能的溅射设备,旨在为各种基板上的薄膜沉积提供精确可靠的工艺。它采用了先进的横梁源设计,用于与阴极电弧沉积源进行溅射,从而实现了一系列高性能的定制薄膜沉积功能。该系统具有多种流程和流程控制功能，包括选择编程协议和集成控制单元。本机主要由溅射室、阴极电弧源和保护外壳三部分组成。使用计算机控制的阀门进行气体填充的溅射室在需要时具有超低的背景压力。它还配备了现代真空工具，设计用于保持反应室内的稳定真空水平。该室还包含可调节的固定装置，用于安装基板，用于等离子体限制和均匀等离子体分布的护罩，均匀的气流分布，以及为提供精确可靠的薄膜沉积过程而设计的各种其他特征。阴极电弧源是由旋转阳极、旋转阴极和封闭几何组成的最先进的离子源。源产生一个浓缩的精细离子束，可以精确引导到工件上，以传递均匀一致的沉积通量。与反应室集成的集成控制资产，提供全方位参数来控制反应温度、过程压力、氧浓度、偏压等。该源还具有多种安全特性，包括功率限制和安全关机模型。保护外壳由一个隔热室组成，以防止触电和防止源产生的辐射。还提供各种选择，包括石英窗和各种盾牌，以确保操作安全。总体而言，CPA 9900是一种先进的溅射设备，专为精确可靠的薄膜沉积工艺而设计。它是一个可靠、安全的系统，设计方便操作和维护，是任何需要优质薄膜沉积工艺的工业应用的绝佳选择。