二手 CPA / KURDEX 9940 #9212048 待售

CPA/KURDEX 9940是一种高科技溅射设备，用于在多种表面上制造薄膜。该系统非常适合制造光学、电子和微电子器件的工艺研发。它使用一种称为磁控管溅射的技术，利用磁控管从源材料中产生离子，然后由高压气体加速在基板上产生沉积。这种方法用于生产结果一致的高端薄膜。CPA 9940溅射单元由真空室、闭环冷却机、源材料馈线、基板支架和电源组成。它配备了目标材料、电源和磁控管的溅射枪。原料在送料机中加热，然后形成由气体加速的离子，在基板支架上产生材料沉积。然后对基板支架进行操作，以调整膜的掺杂、晶粒结构和层厚度。KURDEX 9940工具最大工作压力为10-4毫巴，由涡轮分子泵和隔膜泵维护。腔室在整个过程中处于高度真空状态，以确保彻底和有效的溅射过程。闭环冷却设备可有效地将温度保持在较低水平,以最大程度地减少对基板的热损坏。脉冲调制源电源和磁控管在基板的所有部分提供一致的沉积速率。9940的主要控制键是脚开关和五个功能键来管理模型。设备自动化程度很高,操作人员的干预最少。基板支架的位置、沉积时间、靶材、气体浓度等，如果需要，都可以在操作过程中改变。总体而言,CPA/KURDEX 9940是一个先进的、高度自动化的溅射系统,可靠,可提供具有精确控制和统一特性的高质量薄膜。其耐用的部件、可靠的操作和自动化功能都确保了一致和可靠的结果。这加上其高沉积速率，使得该单元非常适合需要精确控制和均匀薄膜特性的应用。