二手 CPA / KURDEX MRS-3 #9226503 待售

製造商
CPA / KURDEX
模型
MRS-3
ID: 9226503
PVD sputtering system 3 Beam confocal research Thin film coater Includes: SRS RGA 100 OMEGA RDX4sD 4-Channel thermometer OXFORD E500 Dual temperature monitor (3) RFPP RF5S RF Power supplies ADVANCED ENERGY Pinnacle Plus DC Power supply GRANVILLE PHILLIPS 303 Vacuum process transformer controller ALLEN BRADLEY Control PC EDWARDS IPUP2 Vacuum pump THERMO SCIENTIFIC NESLAB Merlin M33 Recirculating chiller CTI-CRYOGENICS 8200 Compressor.
CPA/KURDEX MRS-3溅射设备是一种适用于各种工业应用的高性能、高可靠性的偏置溅射系统。该单元用于开发和修改涂层,涂层的材料范围广泛,适用于溅射应用。其设计旨在优化沉积速率,提高工艺吞吐量,减少基板损伤。CPA MRS-3是一种三室机器,可容纳三个陶瓷目标支架。在溅射过程中可以使用多种阴极配置,包括集群、静电卡盘和磁感器。KURDEX MRS-3的有效溅射面积大,保证了沉积膜质量高。该机还具有多种监控系统,为沉积过程的每个阶段提供过程控制数据。目标架具有可调节的悬挂机构,使用户能够准确定位目标。这样可以优化目标沉积的均匀性。利用惰性气流排出内室有助于控制沉积过程中的压力,防止凝结蒸气的堆积。MRS-3配备了各种自动化系统,使用户能够准确准确地控制和监控流程。它有一个用于自动底物装卸的微控制器,一个计算机控制的过程控制器,以及一个调节沉积速率的闭环工具。偏置溅射过程使用户能够在各种基材上获得高质量、均匀的薄膜。该资产的设计目的是尽量减少通常与溅射有关的基板损坏。它还能够保持稳定、高溅射速率,确保过程吞吐量的最高程度。CPA/KURDEX MRS-3是一种有效可靠的溅射模型,可用于一系列涂层应用。这种设备可以提供与各种材料和基材高度一致的结果,使其成为溅射沉积的可靠和经济的选择。
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