二手 CPA / KURDEX XM2000 #9096616 待售
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ID: 9096616
Sputtering system
Cassette to cassette
Throughput: (40) Wafers per run
PLC/PC Control
Chambers
Indexers
Turbo pump and cryopump
Gauges
Air manifold
Motors
PLC
Touchscreen.
CPA/KURDEX XM2000是一种用于将金属薄膜沉积到基板上的溅射设备。溅射过程由放置在真空室中的多个目标完成，然后使用一个能量来源，例如电或磁性，使离子轰击目标材料，分解其原子并将其沉积到基板上。CPA XM2000是一种多用途的工业级系统，结合了先进的圆柱磁控管（CFM）配置。这使得设备能够同时高效地溅射多个目标，从而创建所需的涂层。多目标构型还有助于减少单个目标溅射系统中可能发生的氧化。KURDEX XM2000共有三个可独立调节高度的目标持有者组件,能够支撑多个不同大小的目标,从而最大限度地定制溅射过程。它具有一系列先进的控制特性，如高度优化的晶圆级腔室电机、自动提升气体入口和自动提升基板加热器，以确保沉积过程中的最高精度。XM2000台机器配备了先进的过程监控工具，其中包括一个高精度的质量流控制器。数字控制面板提供易于导航的设置和读数，并允许用户根据自己的特定需求定制溅射过程。此外,该资产还配备了自动驱动器维护和环境监控例程,以确保正常运行和峰值性能。总体而言,CPA/KURDEX XM2000是一种高效、通用的溅射模型。其令人印象深刻的一系列特点和先进的设计使其能够快速、可靠地准确地将金属薄层沉积在基板上。它坚固的结构、高精度的过程监控和可定制的设置使CPA XM2000工业应用的绝佳选择。
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