二手 CUSTOM CUSTOM #9058888 待售

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製造商
CUSTOM
模型
CUSTOM
ID: 9058888
Automated sputter cluster tool, 6"-8" Load lock chamber (1) Sputter chamber Robotics: for loading single or multiple 6" and 8" Si wafer/glass substrates Custom design with operation simulating single-chamber Endura 5500 for metal deposition Sputter chamber can be equipped by various sputter sources including AMAT standard 8" magnetrons or Quantum 8" sources Adjustable target to wafer distance Used for metal deposition Gas: Ar (oxygen or nitrogen can be added).
CUSTOM CUSTOM是一种用于将各种材料的薄膜沉积在基板上的溅射设备。它通常用于微电子、半导体、光伏等行业。该系统由一个基础单元和一个发生溅射过程本身的腔室组成。该工艺的第一部分是向设备引入原料,如金属或合金。这种材料然后通过电子枪进入溅射室,然后将电子释放到源材料上。电子将材料的小块分解,然后作为薄膜沉积在基板上。为了保证工艺的均匀性,将CUSTOM溅射机的腔室布置成圆形真空室,分为四个部分。源材料放置在四个截面中的每一个,电子从腔室的中心产生。电子和源材料的这种排列允许源材料的最佳电离,并在基板上产生均匀、一致的薄膜。一旦溅射过程完成,腔室就被疏散并用新的原料重新装填。根据应用情况,腔室可能需要不同的条件才能获得最佳性能。例如,在生产半导体薄膜时,该工具必须在高真空条件下运行,以确保所有工艺都不受污染。CUSTOM CUSTOM溅射资产能够生产多种薄膜材料,是广泛应用的理想选择。它还以质量和一致性着称,因为它是为高度精确的溅射过程而设计的。在精确度至关重要的工业中,该模型能够生产出无污染、无缺陷的均匀薄膜,是薄膜沉积的绝佳选择。
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