二手 CVC 2800LL #135121 待售

CVC 2800LL
製造商
CVC
模型
2800LL
ID: 135121
Sputtering system, depo PVD / PECVD 208V Ac, 3 Phase, 200 Amp & 90~100 psi, 4 cfm System last used in 1996.
CVC 2800LL溅射设备是一种先进的真空沉积系统,用于在多种基板上生产高质量的薄膜。专门为太阳能发电行业的关键组成部分薄膜光伏电池的低成本生产而设计。它由几个子系统组成:一个基本单元、一个真空泵、一个溅射室和一个控制器。2800LL的基座单元由坚韧的铝合金制成,具有很高的耐用性和耐腐蚀性。它装有真空泵和溅射室,以及用于维持所需压力和监测工艺参数的数字控制器。CVC 2800LL的最大运行压力为1.8 x 10-6 Torr,可以支撑任何2"至16"的基板尺寸。该单元还配备了一个工艺室窗口,可进行最佳观看,从而便于检查工艺。真空泵为两级旋转叶片泵,转速范围为每分钟5转至90000转。泵的设计目的是尽量减少除气和减少热负荷,提供一个持续清洁的室内环境。它还配备了一个安全机器,允许它在发生故障时关闭电源。溅射室本身采用了机械、电气和软真空组件的组合,旨在达到最高沉积和可重复性精度。它是一个两级会议厅,最多可容纳八个目标,并配备各种目标持有者和样本持有者。目标由直流偏置电源供电,使用户能够控制基板温度和沉积速率。这使用户能够生产出具有一致性和准确性的薄膜。2800LL是适用于太阳能生产中大多数薄膜应用的高效可靠的工具。它易于使用和维护,并以具有竞争力的价格提供卓越的性能。该资产还具有高级功能,包括双溅射室、数字过程控制器和过程窗口,以最大限度地提高沉积质量和效率。
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