二手 CVC AST 601 #50089 待售

製造商
CVC
模型
AST 601
ID: 50089
Batch type sputter tool Specifications: Chamber: 25 x 7" (1) 8" target, (3) targets blanked off Diffusion pumped RF generator, 1kW LEYBOLD roughing pump MINAREK SL-15V speed controller GIC-410 ion gauge controller GP-310 Pirani gauge AVC 485 auto valve controller Process timer KR11 autotune power supply Plasma starter control.
CVC AST 601是在研发应用中为材料沉积而设计的单缸溅射设备。该系统有多种配置,可满足不同的示例类型和应用程序。该单元使用强大的涡轮分子泵(TMP)来创建一个真空室,在其中发生沉积。TMP能够在腔内达到高达0.09毫巴的真空。为确保沉积一致,该机配备了预置有压力、气体、气体流量等可编程参数的气体面板。加工室是一个大的外部穹顶,可以容纳直径最大9厘米(3.5英寸)的样品。AST 601专为手动操作而设计,需要最少的设置。该工具标配射频电源,用于辉光放电清洗。腔室无需打开阀门即可装载,资产内建有关闭阀、自动停机以及温度和压力传感器。CVC AST 601是希望在实验室或行业环境中将薄膜或涂层溅射到样品上的用户的理想选择。利用其气体面板和电源,用户可以精确控制影响沉积的所有参数。此外,该模型的多功能性允许快速、方便地安装目标材料进行沉积.AST 601与各种目标材料兼容,包括金属、合金和塑料。考虑到CVC AST 601相对简单和灵活,它是寻求高效、可靠、易于安装和操作的溅射设备的用户的理想选择。其耐用的设计、强大的气体面板和可扩展的尺寸使AST 601成为研究和工业应用的完美解决方桉。
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