二手 DENTON VACUUM Desktop #9070115 待售

ID: 9070115
晶圆大小: 6"
Sputtering system, 6".
DENTON VACUUM Desktop (DVTD)是一种溅射设备,旨在方便完整的真空薄膜涂层工艺。它可以用于薄膜电子、硬质涂层、光学薄膜等等应用。DVTD由溅射室、阴极组件和可调目标组成。溅射室采用不锈钢制成,具有创新的双壁设计。这种设计创造了一种持久、高真空的静态气氛,提供了最佳的溅射环境。腔室还配有测量压力的真空计、安全阀和排气口。阴极组件是溅射过程的关键部件,由铜网材料制成。这使得它可以提供均匀溅射所必需的磁场均匀分布。它连接到一个可以控制以调整强度的电源,并配有磁性屏蔽装置,以保护目标免受可能的磁化。可调目标确保沉积在基板上的材料厚度均匀。它由不锈钢製成,设计为容易上下移动,以调节阴极与基板之间的距离。目标也可以以"L"形移动,这使得它可以在任何方向上转动,以便于控制通量的方向。为保证良好的涂层性能,DVTD配备了多项防护功能。设有水冷系统,确保高效传热,防止热损伤。该装置还设计有接地故障和过流保护装置,以及在发生危险情况时切断电源的紧急开关。总体而言,Desktop是一个有效的溅射装置,可方便整个真空薄膜涂层过程。其创新的设计提供了耐用、高真空的静态气氛,适合均匀溅射,而其可调的磁性屏蔽则能够精确控制通量的方向。机器中包含的众多保护功能还确保涂层过程安全高效地运行。
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