二手 EDWARDS S150B #293809357 待售

製造商
EDWARDS
模型
S150B
ID: 293809357
Sputter coater Boro silicate glass Implosion guard Water cooled copper specimen table, 4" Sputtering rate: 60 nm per minute E2M2 Rotary vane pump Automatic reset (4) Cathodes Vacuum measurement: Pirani 10 Control unit: 5 mbar PR 10-K Gauge head Power supply: 220~240 V, 5 Phase, 50 Hz.
EDWARDS S150B是在先进的半导体、光学和电子制造应用中为薄膜沉积设计的高性能溅射设备。该系统提供先进的技术和卓越的性能,以满足现代薄膜沉积工艺的苛刻要求。EDWARDS 150 B利用磁控管溅射技术将各种材料的薄膜以高精度和均匀性沉积到基板上。磁控管溅射(Magnetron sputtering)是一种物理气相沉积(PVD)过程,其中目标材料被高能离子轰击,导致原子喷射并沉积在基板上形成薄膜。S150B的一个关键特点是其先进的真空装置,它提供了一个高真空环境,这对于实现高质量的薄膜具有良好的附着力和均匀性是必不可少的。真空机包括高性能涡轮分子泵、低温泵等部件,保证沉积过程中的低基压和高效气体排出。S 150 B的溅射室设计为最大的多功能性和易用性,具有可自定义的配置,以适应各种目标大小和形状。腔室配有原位过程监测和控制系统,以优化沉积参数,确保多次运行的薄膜性能一致。EDWARDS S150B具有最先进的磁控管源,可提供高目标利用率和均匀的溅射速率。磁控管源可以很容易地配置成反应性溅射过程,使复合薄膜的沉积具有精确的化学计量控制。为了提高流程的灵活性和生产率,EDWARDS S 150 B配备了一个先进的自动化工具,允许配方驱动操作、实时监控流程参数和远程控制功能。此自动化资产使用户能够以最少的人工干预轻松设置和执行复杂的沉积过程,从而提高了过程的可重复性和效率。除了先进的技术功能外,S150B还具有用户友好的功能,可简化维护和故障排除任务。该模型包括全面的诊断和错误报告工具,可快速识别和解决问题,最大限度地减少停机时间并最大限度地提高设备正常运行时间。总体而言,S 150 B溅射系统是研究和生产环境中薄膜沉积的一种通用、可靠的工具。其先进的功能、卓越的性能和用户友好的设计使其成为需要精确控制薄膜性能和卓越工艺可重复性的应用程序的理想选择。
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