二手 ELECTROTECH MS 6210 #9396125 待售

ELECTOTECH MS 6210是一种高科技溅射设备,专为需要薄膜沉积的广泛应用而设计。该系统是从半导体加工到储能等众多行业的宝贵技术。MS 6210由各种组件组成。主要元件包括可调节的RF/DC电源,输出功率最高为1000W,以及可调节的高压电源,可用于提升功率或防止功率超过预定的电平。该单元可配备两个5英寸或9英寸溅射源，一个1英寸离子源和一个1英寸可旋转基板支架。溅射源的基座由铝制成，设计用于近乎静音的操作和低热量的产生。ELECTOCECH MS 6210的温度可以通过其内置的温度测控方面进行监测和控制。溅射机具有可容纳高达10-5托（.00001帕斯卡）真空的真空室。室内可达到的工作压力高达4 x 10-3 torr。溅射工具的操作由基于Windows的控制资产控制,该资产可通过脚踏板访问。溅射过程本身由反应性溅射沉积驱动，利用两个低压射频耦合溅射源。反应性溅射沉积是一种通过将受控大气中的目标材料溅射到基板上生长的薄膜中来沉积薄膜的方法。这使得大量化学计量的均质薄膜能够以高密度和对薄膜成分的完全控制来构建。MS 6210是沉积C、W、Al、TiN、CrN、Ti和Ni合金的理想选择。二次过程如蚀刻、离子辅助沉积、热氧化可以与反应性溅射沉积相结合，从而能够额外控制折射率、表面纹理、硬度等薄膜性质。总之，ELECTOCECH MS 6210是一种用途极为广泛的溅射模型封装，对一系列薄膜沉积过程提供了极好的控制。其可调射频/直流电源、可调高压电源、温度测控、集成真空室和基于Windows的控制设备使其成为任何溅射应用的绝佳选择。