二手 EMITECH / EMCORE K575 #9028726 待售

EMITECH/EMCORE K575溅射设备是一种先进的薄膜沉积装置，主要用于研发。它是K系列系列溅射系统的最新型号。其设计提供了精确的控制和高水平的可重复性，使其成为各种薄膜沉积应用的最佳选择。通过使用优化的单级数字"开环"射频电源增强了EMCORE K575溅射系统,该电源可提供精确的参数设置、可重复沉积和高吞吐量。顶端加载线圈和磁铁布置采用了一种新颖的单crucible设计，方便了各种应用序列的快速配方执行。EMITECH K575具有直观的4.5英寸彩色液晶触摸屏控制界面,易于设置和使用,以及嵌入式PLC,可通过远程I/O连接进行自定义程序控制。它可以与各种PLC模块一起使用,以实现复杂的过程实现。该单元本身由两个主要组成部分组成：主体和工艺模块。主体容纳了操作所需的所有组件。这包括PLC、电源、气流控制、射频电源以及薄膜沉积的腔室。可以定制工艺模块,以便为不同的涂层应用启用各种实施方桉。Process模块由一个铝合金保管室组成，其插槽设计用于便于物料资源的插入和物料加工完成后的清除。它还装有一个无线遥控器，可以用来从远处控制整个机器。此外，该模块还利用先进的控制算法对整个沉积工具进行数字化参数设置和精确控制。K575是研发以及各种工业生产应用的理想选择。提供稳定的射频功率输出、精确的参数设定，以及可靠、高质量的薄膜沉积工艺。它直观的触摸屏界面、可编程PLC和无线远程功能使这种溅射资产成为一种极其用户友好的设备。