二手 EMITECH SC7620 #9258013 待售

EMITECH SC7620是一种设计用于薄膜沉积的高性能磁控管溅射设备。SC7620具有先进的体系结构和专利的多点电源控制,具有极好的沉积均匀性和控制性。它具有双目标溅射源和先进的源屏蔽，用于精确的溅射沉积控制。该源包括一台高功率射频发生器、一个不锈钢阴极和一套四个陶瓷溅射靶子。针对低电压、大电流溅射等各种工艺参数进行了优化。EMITECH SC7620拥有独特的专利多点电源控制系统,提供精确的沉积均匀性和控制性。此功能允许用户将溅射电源的电源二分法，平衡目标区域，从而产生高度均匀的薄膜。SC7620使用直接驱动目标定位装置，确保在溅射涂层过程中溅射目标与基板直接接触。这款直驱目标定位机由控制器板精确控制，在基板表面提供均匀厚度。该工具还允许使用多个目标进行多层沉积。EMITECH SC7620具有强大的编程能力,用途广泛,可调.它具有广泛的编程选项，允许灵活性和有针对性的沉积。高级可编程功能包括电源控制、过程定时设置和逐步沉积配方。SC 7620的集成温控资产在整个过程中保证了层的均匀性。模型的高级温度控制设备可以选择配置N2旁路,允许温度高达600 °C。EMITECH SC 7620内置的高级安全功能包括紧急停止、温度控制和多次安全关闭。这些功能可保护样本、系统和环境免受潜在危害。SC7620是薄膜精密薄膜层沉积的理想选择,适用于涂层、MEMS、光学、传感等应用。