二手 EVATEC Radiance BPM5 #293650365 待售

EVATEC Radiance BPM5是一种高功率磁控管溅射设备，设计用于在大基板上沉积导电、温度敏感和极薄的材料。其设计目的是在薄膜沉积领域提供最高的均匀性和成本效益。它是一个先进的平台，具有高精度、低溅射功耗、高沉积速率和优良的可重复性。辐射BPM5配备了可变功率的稀有气体发生器、高功率溅射枪、真空室、高精度运动系统、炮塔溅射去中心和真空泵送系统。可变功率的稀有气体发生器在整个目标区域提供了均匀的氙气分布，而溅射枪则用来激活目标，使其熔化并粘附在基板上。高精度运动系统、炮塔溅射沉积中心和真空抽油机的结合，可以实现精确的沉积过程。EVATEC Radiance BPM5具有沉积多种材料的能力，包括导电材料和温度敏感材料，具有非凡的均匀性。沉积均匀性是通过目标的水平运动实现的，不需要任何加热。此外，低溅射功耗和高沉积速率相结合，确保了所需材料的快速高效沉积。目标制备是溅射机中的重要组成部分，辐射BPM5是考虑到这一点而设计的。它使用目标预处理工艺，防止目标氧化，从而确保可靠的结果。此外,该工具还配备了自动化目标交换功能,可方便地准备多个目标,并大大减少溅射过程中的停机时间。除了沉积能力外，EVATEC Radiance BPM5还提供高级监控功能，以确保可靠和一致的结果。它装有一个集成的控制器和数据记录资产，可以让用户实时精确监控、测量和分析流程。这反过来又能更快地排除故障和优化过程,从而提高产量和均匀性。综上所述，辐射BPM5是一种先进的溅射模型，具有显着的沉积均匀性、低溅射功耗、高沉积速率和优良的再现性。它非常适合各种材料在大型基板上沉积，能够每次产生高质量和高度可靠的结果。