二手 EVATEC Radiance #293650368 待售
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EVATEC Radiance是EVATEC开发的一种完全集成、通用的物理气相沉积（PVD）溅射设备。该系统非常适合金属、合金、电介质和氮化物在各种基板上的沉积，具有多种独特的特点，能够比传统系统更好地控制、灵活和高效。辐射利用两个截然不同的组件来实现特殊的溅射性能：电源和工艺室。电源单元结合了最大功率输出、调频、速变目标技术和先进的控制算法，从而保证了低温沉积操作和优异的工艺重复性。腔室本身设计为与几种类型的沉积材料兼容，并具有与目标分流箱耦合的优化电子束，使其能够低温溅射较薄或较厚的薄膜。其专门设计的绝缘体堆栈可确保出色的抗杂散磁场保护,并确保整个基板上的材料成分均匀。与所有EVATEC系统一样,EVATEC Radiance机器采用了用户友好的图形控制界面。此接口允许根据流程要求轻松调整所有参数,也可用于监控和数据记录,以便进行质量控制。此外,集成的目标和基板加载系统大大提高了吞吐量速度,使单个晶片的处理速度比传统系统快三倍。总之,对于需要最终溅射性能的应用程序,Radiance工具是一个理想的解决方桉。EVATEC Radiance结合了卓越的功能、先进的内置控制算法、用户友好的图形界面以及在不同材料需求之间快速切换的能力,能够在最短的停机时间内提供高度可重复的操作和卓越的影片质量。其卓越的灵活性有助于使Radiance成为各种溅射应用的理想选择。
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