二手 EVATEC Radiance #293650371 待售
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EVATEC Radiance是EVATEC开发的一种最先进的溅射设备，它结合了高沉积速率和特殊的均匀性测量。该设备特别适合光学、显示器、光伏、数据存储和MEMS等工业应用。它具有获得专利的DynamiK®目标交换器、SputterFlow双源电源和Quick-Connect®目标安装。DynamiK®目标交换器是一种电动目标交换器,目标输入/目标输出周期时间小于50秒。这样可以实现高吞吐量和目标之间的快速交换。SputterFlow双源电源设计用于确保在不同目标之间切换时平稳的电源转换。这增强了沉积层的均匀性。Quick-Connect®目标安装座的设计采用了快速更换安装系统和可调节的目标高度。这有助于简单、快速的目标安装和交换。除了先进的设计，Radiance单元还提供了广泛的工艺参数。这包括目标到基板的距离高达30厘米，功率范围从10W到1500W，多种源气体和高达150 mtorr的间隙闭合。该机还获得了超高真空应用的认证，提供10-7 mtor的底压。这使得它非常适合于超薄层的沉积。EVATEC Radiance提供各种腔室大小,可手动操作或完全自动化。还可以添加一个可选的射频（RF）源，从而提高沉积均匀性和更高的沉积速率。总体而言,该工具为高性能溅射过程提供了一个交钥匙解决方桉。
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