二手 EVATEC Radiance #293818719 待售
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EVATEC Radiance是用于各种应用的最先进的溅射设备。它采用了独特的设计，结合了脉冲直流（PDC）技术与低磁场射频溅射源的优点。它有五个处理室，相互连接，形成一个内联系统，旨在处理复杂的处理需求。该机组包含双频电源、低压真空泵、进气机、等离子体监测工具和四个独立的PDC溅射源。Radiance的电源能够以双频运行，这使得脉冲模式能够精确调整脉冲长度、功率设置以及所需的直流偏移。真空泵用于保持资产中的压力，气体入口模型注入所需的气体进行溅射。等离子体监测设备提供溅射功率和等离子体过程参数的实时测量。四个独立的PDC溅射源用于均匀沉积薄膜。EVATEC Radiance的各种工艺室设计为为特定应用提供最佳的均匀性和沉积速率。主室配有标准的旋转溅射靶，用于存放优质薄膜。第二个腔室包含两个固定的目标，专门设计用于生产具有精确沉积剖面的薄膜。第三室和第四室配有提供高精度粘附和纹理控制的三电极二极管源。第五室设计用于生产反应性薄膜，具有等离子体活化和改进分离的特殊特性。辐射是一个可靠的溅射系统，满足各种应用的需要。它在薄膜沉积速率、精密的附着力和质地控制、精密的功率调节以及先进的气体喷射装置方面具有极好的均匀性。它还提供等离子体工艺参数的实时监控，以及监测和调整PDC源功率设置的能力。所有这些特性使得EVATEC Radiance成为汽车、电子、医疗设备等行业各种应用的合适选择。
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