二手 EVATEC Radiance #9144241 待售

EVATEC Radiance是一系列溅射系统，旨在满足世界领先研究机构和行业的需求。Radiance的功能集在无功和非无功系统中都提供了卓越的性能,可以为各种应用制造薄膜。该平台基于革命性的E- Layer™技术,这是一种从多种来源进行高级材料沉积的方法,有利于提高质量、加强控制和缩短生产时间。EVATEC Radiance平台具有一系列高级组件，包括高级电源、过程控制器、目标电源和风冷射频发电机。该电源针对高质量的溅射沉积进行了优化，具有可调节的电压和电流值，可精确控制溅射过程。控制器提供严格的过程控制,提供准确的重复性以及实时监控和调整参数的能力。射频发生器设计用于无功过程的最佳射频等离子体，功率和频率可调，适合应用。辐射系统具有各种先进的沉积室，可提供更大的生产可变性能力，提高灵活性和提高沉积率。通过利用多个腔室，可以提高吞吐量，并且可以精确调整和评估每个特定过程，而不会牺牲其他过程。这些腔室的设计目的是提供均匀的厚度层，并最大限度地减少排出气体和其他与沉积有关的缺陷。EVATEC Radiance平台还包括一些旨在提高安全性、改进人体工程学和减少停机时间的功能。安全功能包括自动监测工艺参数以确保不超过设定的目标，以及在紧急情况下广泛的联锁和自动关闭。优化的人体工程学提供了可调的工作高度以及直观的图形用户界面。该系统的两台独立真空和工艺电动机设计用于延长使用寿命,并且板载LAN连接便于快速维护、系统监控和数据传输。综上所述,Radiance是一个全面、高性能的溅射系统,旨在满足当今领先的研究和生产环境的需求。通过结合高级特性和组件,它提供了卓越的工艺控制、高质量的沉积以及改进的安全性和人体工程学。该系列适用于各种应用，从薄膜的生产到制造序列溅射产品。