二手 HABOR HWT-250 / PSA-15 #293666753 待售

HABOR HWT-250/ PSA-15溅射设备是为薄膜沉积在基板上而设计的。适用于多种应用，包括半导体器件制造、晶圆级封装、表面改性以及多种研发项目。该系统由主室组成，主室由不锈钢构成，包括一个泵送单元以及一个电源、旋转级和控制面板。真空是由粗加工泵和涡轮分子泵组合而成，提供高达10ˉ¹毫巴的真空。沉积过程由磁控管射频溅射源实现。将目标材料加热到所需温度，然后溅射到基板上。目标材料的温度可以通过可以针对不同材料进行调节的电源来控制。电源可以在频率和功率输出方面进行调节。这允许在沉积不同薄膜时进行精确控制。控制面板用户友好,允许存储自动沉积和多个配方。另外，旋转级可用于在单个基板上生产多层薄膜。使用测量膜成分的OES检测器监测沉积的均匀性。该机具有多种特性，保证了薄膜的可靠沉积。它具有工具冷却资产,可确保在重载时正常运行。快速的负载锁定允许快速的基板传输时间。空气轴承模型有助于确保基板的均匀旋转并确保平稳运行。此外，该设备还提供建筑材料的可追踪性，并通过十亿分之一的控制提供环境控制。这样可以确保产品的清洁沉积过程和均匀性。由于系统对用户开放,因此可以在必要时执行手动过程。这包括手动调节电源、监控薄膜生长或精确控制沉积时间等事情。该设备还提供了多种诊断方法,可用于故障排除,例如表面污染和氧化测试。HWT-250/ PSA-15溅射机是一种可靠、用户友好、坚固、均匀、准确的薄膜沉积工具。它允许为众多应用生成各种薄膜。该工具配备了薄膜高精度沉积所需的所有特性。