二手 HITACHI E-1010 #9379359 待售

HITACHI E-1010 Sputtering Equipment是一种用途广泛的高精度溅射设备,专为薄膜沉积应用而设计。它是一种经济且高度自动化的工具,可用于研究和生产级别的应用。HITACHI E1010是一个可扩展的系统，为金属、氧化物和氮化物的沉积提供解决方桉。该装置有一个7轴机器人手臂，允许均匀的物料层沉积在大小和形状各异的基板上。最大基板尺寸为192 mm x 192 mm,最大基板重量为30kg, E-1010可以处理各种基板,包括刚性、柔性和弯曲零件。可以达到高达5：1的高长宽比，并为多层共焦溅射提供支持。E1010机器装有等离子体增强溅射源。这允许增加沉积率，从而提高吞吐量和改善基板覆盖率。溅射源也可用于在单个沉积步骤中沉积多层，进一步推进工具的多功能性。E-1010的溅射资产为目标选择、薄膜厚度、蚀刻和沉积速率提供了广泛的工艺控制参数。可以存储和召回自动化配方,以提高操作效率,并且可以实时监控目标侵蚀和薄膜厚度。HITACHI E-1010支持多个腔室配置，允许多个溅射源同时运行。HITACHI E1010具有小巧而坚固的框架和模块化设计,专为可靠性和易于扩展而设计。该型号还允许通过选择附件进行定制，如微定位器、电子枪和基板处理系统。总体而言,E-1010溅射设备是一种价格合理且用途广泛的溅射工具,专为需要高精度和重复性的应用而设计。该系统易于使用、可靠,处理速度快。此外,该设备支持多种配置,非常适合各种薄膜沉积应用。