二手 HITACHI IML6-1 #9172028 待售

HITACHI IML6-1是一种用于涂覆材料和制造薄膜设备的高性能溅射设备。它具有完整的6轴机械级和真空室，可以在水平或垂直方向操作。该系统还拥有多种基板支架，以容纳多种基板，如玻璃、金属、塑料和陶瓷。该装置采用低压、低能离子加速器，光束电流高达1mA rms，宽光束光斑尺寸为30 mm。可调光束能量，加上先进的高密度等离子体控制，使得各种金属、介电和复合薄膜利用一系列溅射源得以高效沉积。IML6-1设计用于提供质量优良、缺陷程度低的涂层工艺。其先进的腔室和源设计通过控制溅射粒子等离子体密度和能量密度的均匀性，以及金属附着力和薄膜均匀性，确保了覆盖的均匀性。此外，它还配备了先进的等离子体监测机，精确控制等离子体定位和过程均匀性。该工具还包括用于控制真空压力、氧气含量、气体注入和温度的最先进的系统。这使操作员能够密切监视流程并确保最佳流程结果。HITACHI IML6-1配备了直观的图形用户界面，使其易于使用，并允许用户快速、轻松地监控和调整资产参数。它还得到大量在线文档的支持,包括故障排除指南、操作说明和使用提示。IML6-1是在严密控制下需要卓越溅射性能的项目的理想选择。其卓越的基板磨损保护和等离子体控制技术帮助它提供可靠的质量膜，即使要求很高的材料。