二手 INFICON XMS-3 #168883 待售

INFICON XMS-3是为先进的溅射涂层沉积工艺而设计的工业级溅射设备。它提供真空内和真空外涂层，具有几种不同应用的腔室配置。XMS-3在基室内有一个60 x 60厘米的加工区和一个单独的室，用于清除氧化物和污染资产等预清洁和后处理操作。INFICON XMS-3的主腔室为压力操作,支持手动和自动过程。它有一个高效的抽水系统，便于在溅射过程中极低的腔室压力，并能够实时监测和控制温度、压力、气流和其他过程变量。各种溅射源可用于满足特定的溅射要求。它提供了良好的均匀性、附着性和可重复性的涂层效果。XMS-3还能够在基板上产生更厚更密的涂层。INFICON XMS-3具有易于使用和维护的强大设计。它有一个直观的13英寸触摸屏，用于高效的通信和操作。还配备了先进的安全功能，如自动联锁单元和紧急停止开关。XMS-3还包括一个用于装载和卸载基板的自动处理机，以及一个用于方便和安全处理基板的晶圆转移工具。此外,INFICON XMS-3还提供了一系列流程开发和监视选项,例如流程配方控制、数据日志记录和远程访问功能。XMS-3是任何先进沉积工艺的理想溅射资产，在实验室和工业环境中提供可靠和可重复的结果。