二手 INNOTEC DS 24 #2736 待售

INNOTEC DS 24是适用于大小目标的高性能溅射设备。溅射系统采用24kW直流目标电源供电，适用于生产和研究应用。它具有先进的工艺控制和监控单元，易于控制和调整溅射参数。这确保了该过程是可重复和可重现的,以获得一致的高质量结果。该机器能够溅射多种材料，可以沉积高达100 nm厚的薄膜。多功能溅射室可以配置几个目标，适合各种尺寸和形状。该室还配备了相邻定位的源和基板支架，在定位基板和目标时允许了很大的灵活性。DS 24具有多种冷却选项,包括快速扫描和缓慢扫描冷却配置。它还具有高精度的EDAX EDXRF能量色散光谱仪，能够快速测定溅射膜的元素组成。EDAX工具还通过其高速光谱仪和高达每小时15个样品的吞吐量提供高速分析。溅射资产还有一个专用的真空模型，配备了一个18 m3/h的涡轮分子泵站。这样可以确保设备保持清洁，确保薄膜沉积工艺的最佳工作条件。此外，INNOTEC DS 24提供智能报警和监测系统，允许及早发现系统故障，并留出时间纠正问题，以免问题变得严重。它还收集了一系列过程监测工具，使研究人员能够优化其过程并微调沉积参数，以取得预期的结果。总体而言,DS 24是一款先进但用户友好的溅射设备,可提供可靠且可重复的工艺性能。适用于要求苛刻的生产和研究应用，其智能系统使其成为薄膜沉积领域的宝贵工具。