二手 INNOTEC VS-24C #190502 待售

INNOTEC VS-24C溅射设备是一种完全集成的自动化设备，用于与薄膜材料的物理气相沉积（PVD）相关的所有过程。它是一种在线真空沉积溶液，具有宽广的工艺窗口，适合多种应用。VS-24C是一个多源多室系统，配备了最新的聚氯乙烯技术，如先进的沉积控制和诊断，包括无光和氮化物沉积能力。它还具有直观的基于Windows的图形用户界面（GUI）和灵活的模块化设计,用于定制配置。该单元是为介电和半导体材料的PVD而设计的。优化的工艺窗口和闭环工艺控制保证了膜质量和厚度的统一控制。模块化设计允许最多增加四个独立的腔室，使用户在沉积规模和生产能力方面具有灵活性。INNOTEC VS-24C能够提供高质量、可靠的沉积结果,并具有最大吞吐量和产品产量的特定设计。其不同的源配置和基板尺寸使其能够适应任何特定的工艺要求。机器执行定时脉冲、圆形和分段旋转溅射过程，具有广泛的溅射速率，包括先进的双源、双目标配置。它还包括一个微处理器控制的可变电源，它提供了对薄膜沉积参数的精确控制。VS-24C是一种先进的PVD工具,具有高度的自动化和控制,允许用户减少处理时间并提高沉积速率。其精心设计的设计和全面的功能包确保了最大的客户满意度。