二手 KDF / EMITECH / EMCORE K350G #9075090 待售
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ID: 9075090
Power supply
Sputter coating / Glow discharge controller
Plasma voltage: 0 to 1000 V variable DC at 100 mA
Electrode polarity: +DC or -DC with aluminum electrode, 60 mm diameter
Glow discharge lid
Vacuum chamber glass: 165 mm diameter x 125 mm H
HT Vacuum interlock
Needle valve bleed control
Instrument case: 230 mm W x 230 mm D x 175 mm H
Power supply:
230 V, 50 Hz, 6 A max
115 V, 60 Hz, 12 A max.
KDF/EMITECH/EMCORE K350G溅射设备是一种用途极为广泛的工具,用于用薄层材料涂覆表面。KDF K350G采用七室真空系统设计,能够以最佳速率产生极一致、均匀的沉积物。该部队使用高效可靠的磁控管枪电源,以及先进的石英原位监测机。腔室的设计非常适合制造高达五英寸(12.7厘米)的厚而均匀的涂层,并包括钨、的、镍铬合金等材料。EMCORE K350G包括模块化源固定器,可同时容纳圆形和矩形目标。该工具确保有效的物料转移到基板上,具有低颗粒侵蚀、最小化排放和低功耗的特性。溅射源也表现出很强的可重复性,这对于均匀沉积是必不可少的。EMITECH K350G的设计目的是保持一个洁净的溅射环境,安装了三个用于氢退火、净化和惰性气体的气体出口。其较大的工作面积为具有较长工作长度的涂层提供了必要的空间,并为所有八英寸(20.3厘米)方形的基板提供了标准基板支架。该资产与一个三菱机器人手臂和一个盒式装载机相连接,该装载机设计用于更好的工艺集成。K350G是一种强大可靠的溅射工具,用于生成一致、均匀的涂层。它的七室设计、高效电源、精确的现场监控模型以及用户友好的操作员控制,使这款设备成为先进溅射应用的理想解决方桉。该系统的模块化源固定器、气体出口、工作区域和机器人臂使其在实现厚薄材料的优质涂层方面特别有效。
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