二手 KDF / EMITECH / EMCORE K675X #9094345 待售
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ID: 9094345
Sputtering system
Tabletop R & D system
(3) Targets
Turbo pumped
Mechanical pump
Table top sputtering system (DC)
(3) 2" Diameter targets
Turbo pump
11.25" Diameter
8" tall pyrex chamber.
KDF/EMITECH/EMCORE K675X溅射设备是当今市场上用途最广泛、性能最高的系统之一。它提供了创新的设计和先进的特点,以满足现代薄膜沉积应用的要求。该系统在真空或大气环境中结合了独特的腔室形状和尺寸以及极其可靠的材料和先进的技术。KDF K675X由空心波导和射频线圈两个主要源构成。波导是一个阳极氧化铝密封空心腔室,切割波的方向,并建立一个强大的电场。射频线圈由两根环绕一个腔室的铜线制成,并与电源相连。这创造了一个自给自足的低真空、高电离的大气溅射环境。RF线圈设计为提供最大的离子轰击,同时保持较低的等离子体密度,从而赋予用户通用的薄膜沉积特性。该设备配置性强,可以满足不同的工艺要求。它配备了单一的多通道电源,允许用户为离子镀、溅射、反应性溅射等过程设置多个功率级别。该室还设有一个特殊的埃克终端,用于控制溅射枪的占有率。机器的最大吞吐量为12 nA (mAmps)可实现更快、更一致的薄膜沉积过程。该工具还具有允许快速样品传输而不必打破真空的功能。此外,还提供了广泛的电离监测器来持续分析沉积过程。EMCORE K675X非常适合各种薄膜沉积工艺的研发以及生产和试运行。它特别受欢迎,因为它的成本比同样有能力的系统低,加上其典型的同比可靠性和一致的产品质量。总体而言,EMITECH K675X溅射资产是任何溅射应用的绝佳选择。其配置灵活性、可靠的技术以及先进的薄膜沉积能力,使其成为精密薄膜沉积行业的有力工具。
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