二手 KOREA VACUUM TECH VTC PVD-1300 #9173159 待售
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ID: 9173159
Sputtering system
Chamber fitted
(3) LEYBOLD TMP1600 Turbo molecular pumps
(1) EDWARDS Roots pump
(1) EDWARDS Rotary pump
(4) Advanced converters 20K MP 20
(1) ADdvanced converters 18K Bias power supply
(2) Mass flow controllers
(1) Set rotary cage
(1) Magnet power supply
PLC with computer
Control panel for all controls.
KOREA VACUUM TECH VTC PVD-1300是一种用于薄膜涂层和高级研究应用的溅射沉积设备。该系统利用高功率的二极管式溅射源沉积薄膜,将产生具有非凡均匀性和高沉积速率的涂层。设备的Source to Wafer Distance (SWD)是可调的,允许目标到基板距离的各种配置,以获得最佳的薄膜沉积条件。该PVD-1300在电子源上还有一个低能电子轰炸机(LEBS),使其能够传递具有精确控制能级的高功率电子束。该工具几乎适用于任何气体,并提供控制资产内气体压力的能力。该PVD-1300除了具有溅射沉积能力外,还配备了先进的温度控制系统。其加热和冷却源可调10至300 °C,可保持基板温度稳定均匀。消费者还可以利用PVD-1300的自动压力控制模型在腔室内保持恒定的运行压力。KOREA VACUUM TECH PVD-1300具有直观的控制设备,可访问溅射过程的设置和参数。它能够储存多达10个预设的操作条件,协助科学家快速建立系统供即时使用。该PVD-1300还提供了一些监测系统,例如自动关机功能,以确保操作过程中的安全并防止损坏设备或部件。该PVD-1300是一个强大和可靠的溅射机设计,允许薄膜的沉积以最高的精度。其可调的SWD和温度控制系统提供了最佳的薄膜沉积条件,而其自动压力控制工具则提供了保持恒定运行压力的便利。该PVD-1300还有预设的操作条件和安全监控系统,以确保安全运行。KOREA VACUUM TECH PVD-1300具有强大的特性和精确的控制能力,是薄膜涂层和先进研究应用的绝佳选择。
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