二手 KRAUSS MAFFEI Triathlon #9165555 待售

KRAUSS MAFFEI铁人三项是由KRAUSS MAFFEI开发的用于薄膜沉积的溅射设备。它被设计用来将一系列材料沉积在不同表面的基板上，如玻璃、金属、塑料和陶瓷。沉积系统由三个磁驱动源组成，每个磁驱动源配有两个目标，可用于共溅射。这样可以在一个周期内沉积多达三种材料，从而能够沉积复杂的多组分结构。此外，可以方便地交换目标，以便沉积各种材料，包括元素金属、合金、氧化物和氮化物。铁人三项单元允许单步和多步溅射，这取决于所需的材料和结构。溅射源包含一个装有水平溅射源的工艺室和一个用于将溅射材料引导至基板的静电六极体。该室加压以保持最佳的溅射气流，并以均匀的沉积速率控制温度。主源装有旋转磁控管，而另外两个源可能用于射频或直流偏置。溅射速率用可调压力调节器控制，以达到均匀的沉积速率和厚度。机器能够对进程进行溅射蚀刻，以修复和修改现有的层或设备。这使得它可以用于化学机械平面化（CMP）、氧化、退火和植入等多种应用。该刀具配有自动更换沉积参数的6轨工艺重复参数和用于远程操作的步进电机。KRAUSS MAFFEI铁人三项是一种可靠高效的溅射资产，可精确控制沉积参数和材料。这允许创建复杂的多组分基板和独特的表面结构，这些结构适用于各种应用，包括微电子、光学涂层、薄膜光伏和薄膜晶体管。它体积小巧，成本低，也使得它适合各种实验室环境。