二手 KURT J. LESKER 1800 #9215079 待售
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ID: 9215079
Sputtering system
No load lock
Included:
(3) 3” Guns
Gun, 2"
(2) Gases
Cryo pump
Rotation and etch.
KURT J. LESKER 1800溅射设备是半导体和表面制备应用的工业主力军。它是一种用于薄膜沉积和精密溅射的自动沉积系统。适用于大面积处理,最多可容纳四个负载锁,容纳四个或更多基板。1800可以将金属、合金和氧化物溅射到一些基材上,包括硅片、玻璃、聚合物、陶瓷和金属。该装置配有一个控制器,使整个沉积过程自动化,从自动预热到基板清洗和基板加热到溅射沉积。使用控制器,用户可以通过反馈和电源控制来精确控制沉积速率和温度。该机还为射频和直流溅射提供可调节的功率输出设置,以实现更均匀的层厚度,并为表面纹理应用提供定向溅射的入射角。KURT J. LESKER 1800在其溅射过程中提供了专家级的精确度。这包括高溅射速率,高基板温度,高速度,高精度的层设计和非常均匀的层厚度。它还提供了高均匀性涂层、高可重复性的工艺结果、总可移植性、预溅射Xe轰击以及各种其他工艺控制功能。1800是一种耐用且高效的溅射工具,可提供满足各种工业应用需求的多种功能。它是一种可靠且经济高效的方法,可以将各种材料溅出,并取得优异的效果。对于那些正在寻找精确和可重复层设计的用户来说,它也是一个理想的解决方桉。KURT J. LESKER 1800需要最少的维护,并且能够为各种应用程序提供通用功能。
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