二手 KURT J. LESKER CMS-24 #9235982 待售
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ID: 9235982
Physical Vapor Deposition (PVD) system
Includes:
Control cabinet
TEK-TEMPERATURE INSTRUMENTS TKO-100 Chiller
CTI-CRYOGENICS 8200 Compressor
Manuals
Schematics and CD.
KURT J. LESKER CMS-24是一种强大的高速溅射设备，设计用于精确地沉积具有出色附着力和均匀性的薄膜材料。该系统有几个组成部分，包括真空蒸发源、高功率射频溅射源、精密两轴自动级和自动原位晶片菊花装卸单元。真空蒸发源3Hybrid有助于薄膜沉积，加热含有材料，然后蒸发和沉积在基板上的坩埚。用高功率感应加热器加热到固定温度，使用户可以在很大范围内精确控制源温度和端点沉积速率。射频溅射源是基于一种化学惰性阴极基板，它在大面积上以高功率和沉积速率运行。该源能够生产出附着力好、均匀性高、微碰性低的薄膜。这确保了沉积在基板上的薄膜材料的最佳均匀性。Precision Two-axis自动化级提供了对基板和蒸发源的精确机器人定位,同时监控温度、位置和沉积速率。该机器能够精确对准光源,从而实现精确的薄膜沉积.此外,自动化的原位晶片菊花装卸工具提高了晶片的装卸效率,使面板或托架的安装和装卸变得快速方便,而无需手动进入和对齐晶片。资产还会自动筛选晶片基板,以确保它们在特定尺寸公差范围内。CMS-24溅射模型是精密薄膜沉积的有力工具，使用户能够生产出均匀沉积且具有优良粘合特性的优质材料。该系统具有强大的功能和自动化的原位晶片菊花装卸设备,可为最苛刻的工业要求提供高效可靠的薄膜沉积能力。
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