二手 KURT J. LESKER Torus 101 #9210524 待售
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ID: 9210524
Magnetron sputtering source
With ground shields & feedthrus
Rectangular: 4 5/8" x 7 5/8".
KURT J. LESKER Torus 101溅射设备是设计用于将金属薄膜沉积在表面上的最先进的技术。该系统以高压直流能量为燃料,创造出高效的溅射过程。该装置具有一个圆环(圆环)大小,以适应10英寸的晶圆和容易地融入现有的手套箱或处理室。环面101溅射机的设计是精确地将非常细的金属颗粒输送到表面。该工具配有自调、低压、直流电源,确保电力以高效均匀分布的方式施加。它还包括一个阳极板,减少了由于溅射源和基板之间缺乏接触而引起的来自腔室的潜在热耗散。KURT J. LESKER Torus 101溅射资产还具有可调溅射压力模型,用于控制基板表面沉积材料的厚度和均匀性。腔室的设计是这样的,它将允许高通量,均匀溅射沉积。此外,该设备还配备了各种工艺参数和监测技术,以保持对工艺的控制并确保可重复的结果。Torus 101溅射系统设计用于小规模生产运行。该设备易于安装和维护,所有组件都包含在工具包中。利用先进的惰性气体和真空技术,该机能够在均匀粘附基板表面的情况下,生产出薄薄的涂层厚度。KURT J. LESKER Torus 101溅射工具是适用于各种金属沉积应用的可靠溅射资产。与其他溅射系统相比,它是一个经济高效的模型。该设备非常适合生产薄膜电极、光伏器件和其他光电子设备。环面101溅射系统为各种金属薄膜沉积在基板上提供了可靠、经济高效的平台。
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