二手 LEYBOLD / BALZERS Z 590 #9184058 待售

LEYBOLD/BALZERS Z 590是一种高性能溅射设备，设计用于用薄膜涂覆大面积基板。该系统利用大功率感应耦合等离子体（ICP）源产生源源不断的离子流，轰击高纯度固体目标材料，并以定向方式溅射掉目标材料原子。喷射出的原子向基板行进，在其表面上形成均匀的薄膜。该溅射工艺精度高，具有可靠的薄膜特性。LEYBOLD Z 590包括一个高度集成的控制单元,可自动设置溅射参数,使薄膜沉积过程易于操作和精确控制。该机还包括先进的离子源组件，如低噪声高功率射频（RF）发生器、功率范围广的优化ICP源和用于将ICP源与目标进行最佳匹配的高功率匹配网络。BALZERS Z 590还具有自动清洁和调理工具,带有可伸缩刮刀,用于清除目标上不需要的沉积物。该清洗设备采用了氙气和氧气溷合物，以达到最佳清洗效率。此外,Z 590还包括带桨的高精度定位模型和可定位基板确切位置的特殊跟踪设备,从而可以精确对准溅射目标。在安全性方面，LEYBOLD/BALZERS Z 590是以一个为使用者提供辐射防护的屏蔽舱来构造的。它还配备了可编程互锁系统，以防止未经授权进入危险部件。此外，该单元还包括一台先进的诊断机器，用于监控沉积室中的压力，使用户能够轻松检测气体泄漏或其他故障。总之，LEYBOLD Z 590溅射工具是需要可靠、精确的薄膜沉积应用的理想选择。它提供了一个用户友好的界面和先进的功能，使薄膜沉积过程高效可靠。其先进的安全特性确保操作安全可靠，是各种薄膜沉积应用的理想选择。