二手 LEYBOLD / BALZERS Z 590 #9213031 待售
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ID: 9213031
Sputtering system
With load-lock
Sputter down:
Cathodes with D: 75 mm
Possible with adapter flange D: 100 mm
(6) Cathodes: D= 150 mm
Automatic lock
Substrate carrier fully automatic
Height adjustable turntable version
Coating static
Rotating
Oscillating with angle specification
6-8 Substrate positions with (150) cathodes
6-Substrate positions with (200) cathodes
HF Etching
Rotary cover
Microprocessor control
(40) Coating programs: From (120) parameter sets
Plant and process visualization: 9" Operating terminal
Pumping system
D65BCS
TMP 1000
Lock D8B.
LEYBOLD/BALZERS Z 590是一种溅射设备,能够将高质量的材料沉积在腔内。它利用磁控管溅射的方法,以创造一个均匀分布的材料在室内。LEYBOLD Z 590能够利用产生的磁场和功率产生极高的沉积速率。该系统可以处理各种类型的材料,如金属、合金,甚至氧化物。BALZERS Z 590采用先进的磁电组件,由磁铁和电场组成。这项技术使循环时间相对较短和较快,但仍能提供较高的沉积速率。电场的作用是使工作气体电离(在这种情况下,典型的是氙气)。电离气体然后沿着磁体加速进入腔壁,在那里沉积材料。这个过程允许更清洁的沉积,因为它不需要与基板接触。Z 590的设置非常简单,不需要任何额外的专用设备。该单元由一个独立的等离子体室组成,该室同时容纳磁控管和基板支架。电源也位于腔内,由操纵杆控制,以调节电压和电流。使用预装的机械泵可以将腔室排空。LEYBOLD/BALZERS Z 590可广泛应用。它能够为医疗、汽车和航空航天应用开发高质量的涂层。也适用于研发用途,如新涂料的产生或现有涂料的评估。此外,该机提供了生产纳米结构涂料和先进材料的理想平台。总体而言,LEYBOLD Z 590是一款用途广泛且可靠的工具,它提供了强大的溅射过程,并取得了出色的效果。它易于安装并以始终如一的高质量标准运行。该资产为各领域的涂层应用提供了极为精确的沉积过程。
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