二手 LEYBOLD / BALZERS Z 650 #9026903 待售

LEYBOLD/BALZERS Z 650溅射设备使用射频（RF）能量将薄膜沉积到多种基板上。该系统设计用于金属、复合材料和合金的高质量溅射，并配备六源离子源和平衡射频发生器。LEYBOLD Z 650可达到高达2 nm/s的高沉积速率，在沉积膜表面具有极好的重复性和优异的粗糙度。BALZERS Z 650配备了超低能电子源，用于薄膜性能优异的均匀沉积。薄膜沉积的均匀性得益于低电子能量，使得离子可以从等离子体中提取，转移到底物上，沉积损耗很小。此外，电子源可以提供非常低的底物偏差，导致高均匀的薄膜对污染物的吸收较低，附着力较好，保质期更长。Z 650单元是自动化提供可重复和可复制的薄膜沉积。压力、温度、功率、持续时间等工艺参数自动控制，有助于实现沉积膜更好的重复性和可重复性，确保溅射机连续运行。LEYBOLD/BALZERS Z 650工具具有丰富的保护功能，如自动紧急停止、振动监测资产，以及在压力变化时自动关闭。这些功能不仅使型号更加方便用户,而且确保了更好的设备安全性和性能。最后，LEYBOLD Z 650配备了多种监控设备，如摄像机、石英晶体监视器、质谱仪等。这些特性能够持续监测沉积过程，提供有关沉积膜厚度分布、地形和均匀性的详细信息。