二手 LEYBOLD / BALZERS ZH 620 #293818706 待售
网址复制成功！
单击可缩放
LEYBOLD/BALZERS ZH 620是一款在各个行业使用的高度先进、经济高效、可靠的溅射设备。它旨在提供卓越的溅射性能和卓越的工艺控制。它包括一个高度先进和高效的溅射源-LEYBOLD ZH 620离子源。该离子源由两个强大的可调磁体组成，它们产生一个溅射场，可根据工艺要求进行调节。这样可以在各种工业应用中实现最佳的溅射性能。BALZERS ZH 620还配备了先进的机械和控制系统,可优化系统的部分到部分一致性和灵活性。该装置配有全自动和可编程的运动和控制装置，可以精确控制沉积过程。该机还具有可用于沉积和蚀刻过程的高电流金属蒸气源。ZH 620的溅射室尺寸为455 x 460 x 425 mm,内部容积为85升。腔室配有一个大的挡板阀，该阀由一个大的压缩机提供动力，用于均匀的气流。该室还设有高压锁门，以提高安全性和安全性。此外，LEYBOLD/BALZERS ZH 620具有温度控制环境，以确保温度的一致性和防止污染。该工具配有10段射频电源,可提供高达32 kW的功率进行溅射。电源还提供各种偏置和驻留设置，以优化过程的可重复性和控制。LEYBOLD ZH 620是各种应用的完美溅射资产。由于其高效的工作设计，它易于使用并提供经济高效的操作。先进的功能和可靠的电源使BALZERS ZH 620成为溅射应用的理想选择。
还没有评论