二手 LEYBOLD / BALZERS ZH 620 #9100807 待售
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ID: 9100807
晶圆大小: 4"-6"
优质的: 1993
Sputter deposition system, 4"-6"
(3) Targets, 8"
Sputter etcher
(3) Sputter guns
PC Controller
HUTTINGER RF Supply 13.56 MHz
INFICON QUADREX 100 Residual gas analyzer
Substrate heat
Onboard CTI-8 on process chamber
Turbo pump on loadlock chamber
Cluster type
1993 vintage.
LEYBOLD/BALZERS ZH 620是一种高性能溅射设备，设计用于各种应用，如研究、工业和纳米光刻。它将现代技术中最好的技术与综合可用性相结合，以获得优异的效果。溅射系统有一个高电阻的石墨目标和一个电弧点火电路，允许调节离子电流和功率水平。LEYBOLD ZH 620具有热和脉冲模式溅射的能力，适合不同的应用。高阻力石墨目标可以快速、方便地改变，目标到基材距离可以快速调整，以提高效果。溅射装置的外形尺寸很小，即使是最小的空间也很容易安装。低功耗使得它成为许多应用的经济选择。它采用8.4英寸大型液晶触摸屏显示屏,易于浏览。用户界面包括全面的源和基板设置调整、腔室设置、电源机参数和诊断。它还提供了一系列可编程的功能，如基板温度、压力控制、高压控制和端点监控。BALZERS ZH 620可以溅射一系列材料，包括金属、绝缘体、陶瓷、聚合物和有机材料。该工具设计为在0.1至0.2毫米厚的薄膜之间溅射。溅射沉积速率可以从0.001调整到0.2 nm/min，具体取决于基板材料、目标材料和腔室温度。ZH 620可以配备一系列附加组件，如特殊的等离子体源、溅射剥离器和温度控制的不锈钢挡板，以获得改进的效果。它还提供与第三方设备的集成，如X射线荧光光谱仪、基于QCM的质谱仪和朗缪尔探测器。总而言之,LEYBOLD/BALZERS ZH 620是为一系列应用程序设计的高级溅射资产。它的特点和配件使它成为许多用户的通用、经济实惠的选择。
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