二手 LEYBOLD HERAEUS Z550 #9213240 待售

LEYBOLD HERAEUS Z550是一种高性能的溅射设备，设计用于半导体工业，用于制造薄膜层。它有一个先进的控制系统，提供精确的控制，有脉冲直流溅射、多目标溅射和射频或直流离子镀工艺选项。LEYBOLD Z 550具有5区、高均匀性目标组件，结合了多种磁场配置，以更好地引导溅射材料。此单元还提供可选的旋转溅射,即使在大曲面上也能创建高均匀性。HERAEUS Z550能够处理各种各样的材料，包括氧化物、氮化物和金属。它具有快速的溅射速率，根据工作要求，范围在每秒0.1到500纳米之间。其计算机控制的过程参数可以快速调整，而自动过程控制系统则保证了可靠的运行。Z 550可靠性高,色散低,缺陷率低。它有一个大的加工室，具有高效的真空管线，使沉积过程能够在最优条件下完成。它还配备了多端口机器，允许多个进程同时完成。凭借强大的体系结构,LEYBOLD HERAEUS Z550可以轻松处理多达十个高功率目标。在安全性方面，LEYBOLD Z 550结合了闭环控制工具，使基板温度保持在允许的最高水平以下。它还包括了一系列安全功能，如三重光学监控资产，以确保安全运行。它还设计符合最新的行业安全标准。总体而言，HERAEUS Z550是为半导体工业中的高质量薄膜层沉积而设计的强大而可靠的溅射模型。它具有高均匀性的目标装配、计算机控制的工艺参数和较低的缺陷率。它还包含了多种安全特性，允许安全可靠的操作。