二手 LEYBOLD HERAEUS Z550 #9237887 待售

LEYBOLD HERAEUS Z550溅射设备是一种高精度蚀刻工具，设计用于制造不同表面厚度均匀的薄膜。它提供了卓越的表面精度，能够实现极高的薄膜厚度精度水平，从而制造出各种各样的薄膜系统，如MEMS、太阳能电池、半导体器件、电容器和光电器件。LEYBOLD HERAEUS Z 550利用独特的LEYBOLD HERAEUS OpenArc圆顶溅射头，在整个表面积上提供统一一致的过程。该系统提供了可变过程压力能力，允许高达10-4毫巴的过程压力与可调气流和高效二次电离源。它能够产生多晶、无定形、纳米晶等各种薄膜形式。HERAEUS Z550利用先进的光学高温计监测和调整工艺参数的能力进一步增强。此功能提供自动温度控制,以确保均匀准确的沉积和保形膜工艺.Allen Bradley自动化允许用户对设备进行各种流程的快速编程,而基于Windows的软件允许轻松设置组件,包括目标孔径、圆顶旋转、气流和压力。Z550还设计了内置超压机,以提高安全性。该工具由具有高压电源的低压直流磁控管提供动力，用于高速率沉积。资产还包括负载锁室、机器人晶圆处理系统、温度传感器和高压阀门，以增加安全性。LEYBOLD HERAEUS HERAEUS Z550专为低污染生产环境而设计，还配备了HEPA过滤清洗模型。Z 550溅射设备是现代高精度薄膜制造的一种功能强大、用途广泛的工具。该系统非常适合在电子、医疗、光电、纳米技术和航空航天等行业的苛刻应用。LEYBOLD HERAEUS Z550采用尖端技术,为各种应用提供可靠、准确的薄膜沉积。