二手 LEYBOLD HERAEUS Z550S #9192875 待售

LEYBOLD HERAEUS Z550S是一种溅射设备，设计用于使用各种溅射目标进行物理气相沉积（PVD）。利用阴极电弧沉积（arc PVD）沉积厚度变化的高纯度金属和非金属材料薄膜。也可用于制造单层和多层涂层。Z550S溅射系统设计用于先进的研究和工业应用，如半导体级显示器和光学涂层。LEYBOLD HERAEUS Z550S有一个四目标炮塔，具有可调角度，以方便胶片对准和层一致性。溅射室直径为6英寸（152毫米），长度为18英寸（457毫米），这使其具有用于溅射更大面积基板的大腔体体积。Z550S可以容纳直径不超过8英寸（203毫米）、厚度不超过4 ″ （102毫米）的基板。集成式冷却套有助于最大限度地减少目标和基板的加热。LEYBOLD HERAEUS Z550S溅射装置具有高性能电子回旋共振（ECR）离子源。与传统的射频离子源（RF-PVD）相比，这种离子源在目标和底物上提供了更为均匀和均匀的离子轰击。ECR离子源在较大的基质区域上具有良好的沉积速率均匀性，适用于非导电材料、慢侵蚀靶等各种特殊靶标。Z550S溅射机配备了先进的过程控制软件，使用户能够方便地编程沉积过程和监控沉积参数。该软件还允许用户创建工艺数据库，该数据库可以存储和加载传统复杂涂层工艺的参数。用户可以通过LEYBOLD HERAEUS Z 550S的电脑界面监控和控制基板温度。Z550S溅射工具设计方便维护，其部件由优质材料制成，具有最大的耐用性和可靠性。其软件可通过闪存驱动器轻松更新,并且资产还提供远程诊断和故障排除服务,以最大程度地减少停机时间。因此,LEYBOLD HERAEUS Z550S是用于研究和工业应用的可靠、经济实惠且易于使用的溅射模型。