二手 LEYBOLD HERAEUS Z550SM #9235453 待售

LEYBOLD HERAEUS Z550SM是为生产和研究应用而设计的功能强大且用途广泛的溅射设备。它可以用来将不同材料的薄层沉积到基板上。该系统由一个溅射阴极、真空室、电源和一系列先进功能组成。Z550SM能够利用磁控管和离子束溅射沉积过程将不同的材料溅射到基板上。溅射源是一种可用于溅射纯金属、合金和陶瓷的大功率多位置圆形磁控管。离子源具有多发散光束剖面，用于高分辨率结构的沉积。该电源可为溅射过程提供高达24kW的功率，并具有调节沉积速度的可调频率控制单元。LEYBOLD HERAEUS Z550SM的真空室是一种高真空机，工作压力范围为2 x 10-8 mbar至5 x 10-2 mbar。该工具用消除阀密封，采用Bayard-Alpert电离量表。Z550SM还有一个起重平台，可以用来调节基板的位置和倾斜度。溅射设备具有自动过程控制和端点检测能力，以确保可靠和可重复的结果。整个模型可以通过易于使用的图形用户界面轻松监控和控制。预定义的配方编辑器存储不同溅射过程的所有相关参数，并使用户能够创建和保存自己的配方。设备还包括多项安全功能，以防止设备意外操作和超载。总体而言,LEYBOLD HERAEUS Z550SM是一个功能强大且用途广泛的溅射系统,通过其高级功能提供精确的控制和可靠的结果。该装置适用于生产和研究应用，是将不同材料的薄层沉积到基板上的理想选择。