二手 LEYBOLD HERAEUS Z550SS #9105299 待售

LEYBOLD HERAEUS Z550SS
ID: 9105299
Sputtering system.
LEYBOLD HERAEUS Z550SS是一种基于直流/射频双磁控管的物理气相沉积(PVD)溅射设备。它利用两个磁控管源进行溅射过程,将薄膜沉积在基板上,形成了对轮廓形状和均匀性进行精确控制的优良保形涂层。溅射系统由四个工艺室组成----一个大的工艺室,其窗口尺寸为6 "× 6" × 8"(152毫米× 152毫米× 203毫米),还有三个小得多的室,专门为最佳工艺产率和最小交叉污染而设计。加工室还有一个气体出口连接,允许直接从外部源供应加工气体。该装置为加工室和原地清洗利用独立的气体供应系统,确保有效控制产生一致结果的工艺参数。Z550SS溅射机具有高功率的离子源,寿命长,气体压力高,高效溅射。它还使用先进的数字射频功率控制来精确控制沉积速率、最大离子电流和轮廓覆盖的均匀性。该工具配备了数据处理资产,对沉积过程进行深入分析,使用户能够优化沉积参数。此外,该模型还包括一个自动温度控制设备,用于在最佳基材温度下高效沉积。LEYBOLD HERAEUS Z550SS溅射系统设计方便操作,具有直观的软件、可编程自动控制面板和清晰的LED指示灯,可快速视觉参考。此外,它还设计用于与其他溅射系统兼容,允许用户交换信息,而不管设备的品牌或型号如何。Z550SS具有强大的功能和通用的软件,是高效沉积薄膜、精确控制轮廓形状和均匀性的理想溅射机。
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