二手 LEYBOLD HERAEUS Z650 #32461 待售

LEYBOLD HERAEUS Z650是一种高端多源溅射涂料，设计用于将材料薄层沉积到各种基板表面上。用于医疗器械医疗诊断元件、平板显示器、半导体包装和光伏材料等广泛应用。LEYBOLD HERAEUS Z 650溅射设备由两个主要部件组成-电源和溅射单元。电源包括三个独立的通道，最多可处理五个独立的溅射源。它配备了一个数字显示屏，用于监测每个电源的电压、电流和功率水平。沿溅射弧线在259个正电子处监测电流，以保证最佳溅射过程。溅射单元由可旋转的卡盘组成，可用于无影溅射沉积和正常溅射到基板上。溅射目标保持在可变倾斜角度高达10度的浮动目标支架中。这个持有者可以在X和Y方向移动，以确保整个溅射目标的均匀覆盖。溅射室可在1毫巴至13毫巴的各种背景压力条件下操作。Z650系统得益于多源功能和广泛的目标选择。它能够涂覆多种金属、半导体及其衍生物，如铝、铜、铵、钨和铬。模块化设计允许同时配置多个溅射配置,从而为用户提供不同的好处,例如提高生产率和提高流程通用性。Z 650溅射装置具有先进的控制功能,可实现准确和可重复的过程结果。集成的Data Logger提供实时流程信息，这些信息可以传输并存储在USB驱动器上，用于进一步的数据分析。该机还包括一个可选的VacPit多合一真空泵和一个无油的背衬。LEYBOLD HERAEUS Z650溅射工具为薄层沉积在各种基板表面提供了先进的特性和精确的控制。模块化设计在使用方面提供了灵活性,并利用多种来源功能提高了生产效率。Data Logger提供实时数据，并辅以集成的VacPit吸尘泵，用于更清洁的环境。