二手 LEYBOLD OPTICS Pegasus #9299848 待售

LEYBOLD OPTICS Pegasus是一款功能强大、最先进的溅射沉积设备，旨在生产高质量的薄膜涂层。它建立在经过试验和验证的Leybold真空技术之上，包括一个带背衬泵的涡轮分子泵、一个GD2004/QD数字控制器、一个精心设计的负载锁和两个不同的磁控管溅射源。该系统具有精确可靠的基板定位和锁载温度控制，以及现场源温度和阶段参数优化。这允许最小能量输入和产量优化。该机组的主反应堆装有不锈钢室罩。它旨在为人员、部件和涂料提供最大限度的保护。整个房间还包含快速打开和重新关闭安全门，以增加保护。莱博尔德飞马号使用在直流和脉冲功率水平上运行的双磁控管源，以及用于高密度离子轰击的ECRN离子源。它在高达6E-2 Torr的压力下运行，源到基板的距离可达60mm，开口可达16英寸。再者，基板尺寸可以在2到15英寸之间，溅射功率高达3 kW。机器与手动操作的样品架一起运作，并允许沉积导电和非导电材料，如金属、电介质、氧化物、聚合物和合金。它还有一个内置的基板冷却工具，用于沉积过程中的温度控制，并且能够达到8 µm/min的沉积速率。此外,Leybold LEYBOLD OPTICS Pegasus还包括一个用户友好的图形用户界面、一个过程监控资产和一个温度监视器,可确保精确的涂层厚度控制。所有这些特性都有助于实现精确和可重复的结果,使其成为许多工业应用的理想工具,如平板显示器开发、光学薄膜沉积、摩擦学涂层以及医疗元件和仪器制造。