二手 LEYBOLD Web 750sp #9030297 待售
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ID: 9030297
PV sputter web coating system
Coating speed up to 3 m/min for solar cell transparent front contact coating
Coating width of 500 mm (can be extended up to 1500 mm)
Dry vacuum pumping system with high water vapor pumping speed
Integrated on-line process control
Deposition speed: max line speed is limited to 1 m/min
Web width: limited to 600 mm wide web with an effective coating width of 550 mm.
LEYBOLD Web 750 sp是一种最先进的溅射沉积设备，旨在促进广泛的溅射应用。它包含了一个超薄膜溅射沉积模块，帮助创造独特的薄膜沉积范围从纯金属到复杂的多组分合金或氧化物。Web 750 sp具有一个大的12 x 8英寸主动溅射区域,可提供最大的区域覆盖范围,允许较大基板的溅射。采用脉冲直流磁控管技术，具有最佳性能和沉积薄膜结构的能力，具有优异的均匀性、附着性和组合性。LEYBOLD Web 750 sp包含一个集成的计算机控制和可视化系统,可帮助监控沉积过程。此单元提供了一种具有用户定义参数的自动化方法,可实现简单高效的操作。Web 750 sp还包括一个灵活的模块机器，允许工具根据用户应用需求进行定制。LEYBOLD Web 750 sp具有高纯度气体分布，允许在溅射前和溅射过程中对腔室进行最佳净化，其加工气体范围从Ar到O2和N2不等。该资产还提供了一系列用于基板溅射的石英和陶瓷靶标，包括四个带有油扩散泵的涡轮分子泵，用于抽取模型进行沉积。Web 750 sp提供了一个简单操作的直观用户界面以及在不同基材之间轻松切换的能力。该设备还包括一个独特的专利安全启动系统作为一个功能，帮助降低溅射过程事故的风险。此外，它为离子轰击和溅射清洗能力提供了一系列离子源。总体而言,LEYBOLD Web 750 sp是一个出色的溅射装置,能够提供高质量的薄膜沉积,具有广泛的应用。其直观的控制机器结合先进的气体分配和安全启动工具，使其成为溅射过程的绝佳选择。
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